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Verfahren zum Herstellen eines polykristallinen Keramikfilms (2) auf einer Substratoberfläche (31) eines Substrats (3) mit folgenden Verfahrensschritten: a) Bereitstellen des Substrats (3) mit der Substratoberfläche (31) und Bereitstellen mindestens einer Quelle (9) für Keramikpartikel des Keramikfilms, wobei die Substratoberfläche und die Quellen mit einem Abstand zueinander angeordnet werden, und b) Erzeugen eines Partikelstroms (8) der Keramikpartikel von der Quelle der Keramikpartikel in Richtung der Substratoberfläche des Substrats, so dass die Keramikpartikel auf der Substratoberfläche des Substrats abgeschieden werden und der Keramikfilm gebildet wird, wobei innerhalb des Abstands mindestens eine Blende (7) zum Einstellen eines mittleren Einfallswinkels der Keramikpartikel gegenüber einer Flächennormalen der Substratoberfläche angeordnet wird, so dass die Keramikpartikel mit einer Vorzugsrichtung auf der Substratoberfläche abgeschieden werden, und eine relative Lage der Substratoberfläche und der Blende zueinander geändert wird, wobei der Abstand gleich bleibt, dadurch gekennzeichnet, dass die relative Lage durch Pendeln (61) der Blende geändert...
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