| 发明名称 | 图像传感器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种图像传感器的制造方法。该方法可包含如下步骤：在滤色镜层上形成氧化物层；通过蚀刻氧化物层来形成第一氧化物层微透镜；在第一氧化物层微透镜上形成第二氧化物层微透镜；以及在第二氧化物层微透镜上形成第三氧化物层微镜。本发明能够减少表面粗糙度并且减小相邻的微透镜之间的空隙。 | ||
| 申请公布号 | CN101431042B | 申请公布日期 | 2011.08.17 |
| 申请号 | CN200810174425.9 | 申请日期 | 2008.11.05 |
| 申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 郑冲耕 |
| 分类号 | H01L21/71(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/71(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 郑小军;冯志云 |
| 主权项 | 一种图像传感器的制造方法，包括如下步骤：在滤色镜层上形成氧化物层；蚀刻所述氧化物层以形成第一氧化物层微透镜；在所述第一氧化物层微透镜上形成第二氧化物层微透镜；对所述第二氧化物层微透镜执行化学处理；以及在所述第二氧化物层微透镜上形成第三氧化物层微透镜；其中，执行所述化学处理的步骤包括对所述第二氧化物层微透镜应用化学物，所述化学物包括TMH、H2O2和H2O。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||