一种硅片传输机器人R轴结构

摘要

一种硅片传输机器人R轴结构，具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构，包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点，是使用1个交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构，使传动轴的长度有效减短，从而降低了R轴大小臂的高度空间，并由此引发一系列功能的改善。

主权项

一种硅片传输机器人R轴结构，包括：R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等；其特征在于：所述硅片传输机器人R轴结构使用1个十字交叉轴承(6)，所述同步小带轮(4)以“热装法”套在十字交叉轴承(6)的外环上，并注意使十字交叉轴承(6)外环的沉孔对准同步小带轮(4)上的螺孔，压紧到位后，在十字交叉轴承(6)的沉孔内拧入紧固螺钉紧固；所述装配后的同步小带轮(4)和十字交叉轴承(6)以“热装法”套入传动轴(7)的相应部位，并注意使传动轴(7)上的沉孔对准十字交叉轴承(6)内环的螺孔，压紧到位后，在传动轴(7)的沉孔拧入紧固螺钉紧固；所述同步大带轮(5)以“热装法”套入传动轴(7)的相应部位，并注意使十字交叉轴承(6)内环的螺孔对准同步大带轮(5)上的沉孔，压紧到位后，在同步大带轮(5)的沉孔内拧入紧固螺钉紧固。