图形化蓝宝石衬底的制作方法

摘要

本发明涉及一种图形化蓝宝石衬底的制作方法，包括步骤：对待光刻的衬底进行匀胶处理；将掩模板与所述衬底对准安装，并将所述掩模板按设定距离设置在所述衬底上方；根据预设的曝光条件进行投影曝光；对曝光后的衬底进行显影处理；对显影后的衬底进行烘烤处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；设定刻蚀腔的温度和真空度、屏蔽罩的温度以及冷却循环机的控制温度后，将烘烤处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；通入刻蚀气体对衬底进行刻蚀，通过阳极射频源功率和偏压射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却。采用本方法图形衬底生产率高，使用该衬底生产的芯片出光效率高且稳定。

主权项

一种图形化蓝宝石衬底的制作方法，其特征在于，包括步骤：S1、对待光刻的衬底进行匀胶处理；S2、将掩模板与所述衬底对准安装，并将所述掩模板按设定距离设置在所述衬底上方；S3、根据预设的曝光条件进行投影曝光；S4、对曝光后的衬底进行显影处理；S5、对显影后的衬底进行烘烤处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；S6、设定刻蚀腔的温度和真空度、屏蔽罩的温度以及冷却循环机的控制温度后，将烘烤处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；S7、通入刻蚀气体对衬底进行刻蚀，通过阳极射频源功率和偏压射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却。