具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法

摘要

本发明提供了具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法。该微机电装置，包括主体(2a)、弹性地连接到该主体(6；106)并可按照一自由度运动的运动质量块(2b)和驱动装置(6)，其耦合到该运动质量块(2b)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b)以稳定的工作频率(ωD)振荡。此外微机电装置还包括启动装置(7、8、10)，其可在启动工作模式下被激活并被构造为比较与运动质量块(2b)的振荡关联的第一信号(CKA)的当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)，并基于该当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)的比较判定是否向运动质量块(2b)提供加力信号包(VF)，从而将能量传递到运动质量块(2b)。

主权项

一种微机电装置，包括：主体(2a；106)；运动质量块(2b；107)，弹性地连接到该主体(6；106)并可按照一自由度相对于该主体(6；106)可振荡地运动；驱动装置(6；120、121、125、126、127)，其耦合到该运动质量块(2b；107)从而形成微机电环(5；119)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b；107)以稳定的工作频率(ωD)振荡；其特征在于启动装置(7、8、10；123、130、131)，所述启动装置(7、8、10；123、130、131)可在启动工作模式下被激活并且被构造为将与运动质量块(2b；107)的振荡关联的第一信号(CKA；CKN)的当前振荡频率(ωA)与参考频率(ωR)比较，并基于当前振荡频率(ωA)和参考频率(ωR)之间的比较判定是否向运动质量块(2b；107)提供加力信号包(VF)，从而将能量传递到运动质量块(2b；107)。