一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法

摘要

一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法，在采用超声喷雾技术制备薄膜太阳电池用透明导电薄膜过程中，通过采用氢氟酸腐蚀的化学方法来控制玻璃衬底表面形貌，进而实现对在其上生长的ZnO透明导电薄膜形貌的控制，具体方法是：1）采用质量百分比浓度为（0.5-10）%的HF溶液腐蚀玻璃衬底，腐蚀时间为（1-30）min；2）采用超声喷雾热分解法在HF溶液腐蚀过的玻璃衬底上生长掺杂ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是该方法成本低、容易操作，可有效控制制备薄膜的形貌，进而控制其绒度，对提高硅薄膜太阳电池的陷光能力具有重要的作用。

主权项

一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法，其特征在于：在采用超声喷雾技术制备薄膜太阳电池用透明导电薄膜过程中，通过采用氢氟酸腐蚀的化学方法来控制玻璃衬底表面形貌，进而实现对在其上生长的ZnO透明导电薄膜形貌的控制，具体方法如下：1）采用质量百分比浓度为（0.5‑10）%的HF溶液腐蚀玻璃衬底，腐蚀时间为（1‑30）min；2）采用超声喷雾热分解法在HF溶液腐蚀过的玻璃衬底上生长掺杂ZnO透明导电薄膜。