用于监控化学机械抛光的数据处理

摘要

本发明提供了方法和装置，以实现用于监控对衬底进行抛光的技术。获取两个或多个数据点，其中每个数据点具有受传感器的感知区域内的特征影响的值，并且与感知区域经过衬底(10)时衬底和传感器的相对位置相对应。一组参考点被用来修改所获取的数据点。该修改对由感知区域经过衬底导致的所获取的数据点的失真进行补偿。基于修改后数据点，估计衬底的局部属性来监控抛光。

主权项

一种用于检测衬底抛光处理的方法，所述方法包括：在抛光衬底的过程中将原位监控系统的传感器扫描过衬底的一面以获得多个数据点，每个数据点对应于所述衬底上的采样区域并具有受所述传感器经过所述衬底的感知区域内的衬底特征的影响的值；使用参考数据点修改获得的数据点，以对获得的数据点中由所述传感器的所述感知区域经过所述衬底所导致的失真进行补偿；以及基于修改的数据点估计所述衬底的局部属性。