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一种晶体生长表面微结构的实时观测方法，其特征在于引入菲索干涉仪在干涉光路中，将菲索干涉仪中的两个参考平面镜之一替换为正在生长的晶体表面，使经参考平面镜和生长晶体表面反射的激光发生干涉，使干涉条纹中包含晶体生长表面的信息，再利用移相干涉方法提取出晶体生长表面结构信息，然后通过计算机软件计算分析得到晶体生长表面的等高图和三维透视图；实现实时观测的系统装置包括移相数字波面干涉仪和晶体生长装置两部分；其中移相数字波面干涉仪选用菲索型卧式移相数字波面干涉仪并采用He‑Ne激光器，其准直光束口径为Φ60mm；光学质量λ/20(P‑V)；光路切换采用在调整与测试之间进行的电控切换；参考平面镜上装有压电陶瓷驱动器的等厚干涉仪；移相干涉采用光电定量探测方法，对多幅静态干涉图采样，经图像采集卡将光强干涉图转化为数字干涉图，由计算机按照移相干涉的数学物理模型复原波面，输出波面的面形偏差或光程差、峰谷值和标准偏差，并绘出波面二维等面图、三维立体图及测试干涉图像；晶体生长装置为小型溶液晶体生长装置，采用空气浴红外灯加热，温控仪控温精度为0.1℃；生长晶体放置在调节架上；籽晶架用有机玻璃制作，在生长缸一侧开制尺寸为Φ60mm圆形窗口并对准干涉仪的光路口，窗口用Φ80mm×14mm的圆形平板石英玻璃密封，平板石英玻璃的平面度λ/20，平行度1’以内，光洁度40/20。 |
