适用于产酸物的树脂和含有该树脂的化学放大正性光刻胶组合物

摘要

本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。

主权项

1.一种树脂，所述树脂通过照射产生酸并且所述树脂是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键，其中阴离子聚合物包含衍生自具有阴离子基团的任选取代的丙烯酸化合物的结构单元或衍生自具有阴离子基团的脂环族化合物的结构单元，其中衍生自具有阴离子基团的任选取代的丙烯酸化合物的结构单元是由式(Ia)表示的结构单元：其中R表示氢原子、C1-C4烷基或C1-C4全氟代烷基，Q¹表示没有碳-碳不饱和键的二价连接基团，Z¹和Z²相同或不同并且各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟代烷基，并且衍生自具有阴离子基团的脂环族化合物的结构单元是由式(Ib)表示的结构单元：其中Q²表示没有碳-碳不饱和键的二价连接基团，Z³和Z⁴相同或不同并且各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟代烷基基团，U表示氢原子、C1-C4烷基、具有选自氧原子和氮原子的至少一个原子并且没有碳-碳不饱和键的单价极性基团，以及m表示0、1或2，其中有机阳离子是由式(IIa)表示的阳离子：其中P¹、P²和P³各自独立地表示任选取代有选自羟基和C1-C12烷氧基的至少一个基团的C1-C20烷基或任选取代有选自羟基和C1-C12烷氧基的至少一个基团的C3-C30环烃基；所述有机阳离子是由式(IIb)表示的阳离子：其中P⁴和P⁵各自独立地表示氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基；所述有机阳离子是由式(IIc)表示的阳离子：其中P⁶和P⁷各自独立地表示C1-C12烷基或C3-C12环烷基，或P⁶和P⁷结合形成与相邻的S⁺一起形成环的C3-C12二价烃基，并且在所述二价烃基中至少一个-CH₂-任选被-CO-、-O-或-S-替代，P⁸表示氢原子，P⁹表示C1-C12烷基、C3-C12环烷基或任选取代的芳基，或者P⁸和P⁹结合形成与相邻的-CHCO-一起形成2-氧环烷基的二价烃基，并且在所述二价烃基中至少一个-CH₂-任选被-CO-、-O-或-S-替代；或者所述有机阳离子是由式(IId)表示的阳离子：其中P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷、P¹⁸、P¹⁹、P²⁰和P²¹各自独立地表示氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，n表示0或1。