集成热单元

摘要

一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。

主权项

一种集成热单元，用于处理衬底，所述集成热单元包括：烘烤板，构造成对支撑在所述烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，构造成对支撑在所述冷却板的表面上的衬底进行冷却；衬底传送梭，构造成将衬底从所述烘烤板传送到所述冷却板，所述衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由所述烘烤板加热的衬底进行冷却；和梭平台，所述梭平台构造成与所述烘烤板和所述冷却板分开，所述梭平台是所述衬底传送梭的起始位置，并且在所述梭平台上，衬底能够传送进入所述热单元，并且由所述衬底传送梭拾起。