具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室

摘要

本发明的具体实施例包括一负载锁定室，该负载锁定室具有一分离间隙阀门密封隔间。在一具体实施例中，一负载锁定室包括一主要组合件、一第一间隙阀门密封隔间及一密封组合件。主要组合件之中形成一基板输送腔。贯穿主要组合件形成二基板进接端口，并将该二基板进接端口流体耦合至腔。第一间隙阀门密封隔间具有一孔，该孔排列邻近于该些进接端口之一者并与之成一直线。第一间隙阀门密封隔间和主要组合件分离。密封组合件将第一间隙阀门密封隔间耦合至主要组合件。

主权项

一种负载锁定室，其至少包含：一主要组合件，其具有一基板输送腔及贯穿该主要组合件形成的二基板进接端口，该二基板进接端口流体耦合至该腔；一第一间隙阀门密封隔间，其具有一孔排列于邻近该些进接端口之一者并与之成一直线，该第一间隙阀门密封隔间和该主要组合件分离；一间隙阀门，其耦合至该第一间隙阀门密封隔间，并且可以操作以开启和关闭该孔；以及一密封组合件，其将该第一间隙阀门密封隔间耦合至该主要组合件。