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一种KDP晶体高功率激光体损伤三维测量方法，采用数字全息干涉测量装置进行测量，该数字全息干涉测量装置的构成包括激光器(4)、扩束准直装置(5)、分光镜(6)、第一反射镜(7)、第二反射镜(8)、合束镜(9)、透镜(10)、CCD探测器(11)和计算机(12)，各部件的位置关系如下：在该激光器(4)的激光输出方向设置扩束准直装置(5)、分光镜(6)，该分光镜(6)将输入的激光分为透射光和反射光，所述的透射光经待测的晶体(3)、第一反射镜(7)反射进入合束镜(9)，所述的反射光经第二反射镜(8)反射进入合束镜(9)，带有待测晶体(3)的信息的透射光和反射光经合束镜(9)合束相干，再经透镜(10)成像由CCD探测器(11)探测并输入所述的计算机(12)，该计算机(12)具有数字全息干涉测量处理软件；其特征在于该方法包括下列步骤：①将光损伤前的待测的KDP晶体置于所述的数字全息干涉测量装置的测量光路中；②使待测的KDP晶体与所述的数字全息干涉测量装置的探测光路成一定角度θ，启动所述的数字全息干涉测量装置，所述的激光器(4)输出的激光经扩束准直装置(5)扩束准直后进入分光镜(6)，该分光镜(6)将输入的激光分为透射光和反射光，所述的透射光经待测的KDP晶体(3)、第一反射镜(7)反射进入合束镜(9)形成测量光路，所述的反射光经第二反射镜(8)反射进入合束镜(9)形成参考光，带有待测晶体(3)的信息的透射光和参考光经合束镜(9)合束相干再经透镜(10)成像并由CCD探测器(11)记录待测KDP晶体内体损伤的相位分布轮廓，即待测的KDP晶体的一幅二维相位分布图像并存入计算机(12)；③选定角度扫描的角度间隔Δθ，不断转动待测的KDP晶体进行角度扫描，重复步骤②获得一系列不同角度下的二维相位分布图像并存入计算机(12)；④将光损伤后的KDP晶体置于所述的数字全息干涉测量装置的测量光路中，重复步骤②和步骤⑧。⑤计算机(12)对所述的同一角度下损伤前后的相位相减，得到一系列不同角度下相位差分布图像的傅里叶变换，通过逆傅里叶变换重构出待测的KDP晶体的体损伤的三维相位分布形貌。 |
