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发明名称
摘要
申请公布号 JP4748070(B2) 申请公布日期 2011.08.17
申请号 JP20070016538 申请日期 2007.01.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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