发明名称 超薄半导体芯片封装结构及其制造工艺
摘要 本发明公开了一种超薄半导体芯片封装结构,采用双层引线对焊垫呈双列式排布的芯片进行了封装,两路引线互不干涉,进一步提高了电连接可靠性;与此同时,相比现有技术,其采用单面聚合物代替原本芯片背面的玻璃,采用玻璃-硅-聚合物的结构,将封装厚度进一步减薄,实际运用时能将厚度从原来的0.9mm减少至0.5mm,从而大大减小了半导体芯片封装体积。
申请公布号 CN101789414B 申请公布日期 2011.08.17
申请号 CN201010116257.5 申请日期 2010.02.26
申请人 苏州晶方半导体科技股份有限公司 发明人 王卓伟;俞国庆;邹秋红;王蔚
分类号 H01L23/485(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L23/485(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 范晴
主权项 一种超薄半导体芯片封装结构,包括芯片(102)和与芯片(102)正面压合的玻璃基板(101),所述芯片(102)带有焊垫,所述焊垫通过线路同芯片(102)电连通;其特征在于所述芯片(102)的背面直接沉积第一绝缘层(105),所述第一绝缘层(105)的背面沉积第一引线层(106),第一引线层(106)的背面沉积第二绝缘层(107),该第二绝缘层(107)上设有若干开孔,所述第一引线层(106)的部分表面从所述开孔内暴露;而所述第二绝缘层(107)的背面沉积第二引线层(108),该第二引线层(108)与第一引线层(106)电隔离,并且所述第二引线层(108)的背面与所述第一引线层(106)暴露的表面上共同沉积有保护层(109);所述第一引线层(106)暴露的表面上设有若干第一焊接凸起(110),而第二引线层(108)上则设有若干第二焊接凸起(112),这些焊接凸起均从保护层(109)上布有的开孔内突出;同时所述焊垫呈双列式排布于芯片(102)四周,其中位于内侧的第一列焊垫(104)通过第一引线层(106)与第一焊接凸起(110)相连,而位于外侧的第二列焊垫(111)则通过第二引线层(108)与第二焊接凸起(112)相连。
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