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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR IONIZED PHYSICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1243016(B1) 申请公布日期 2011.08.17
申请号 EP20000979201 申请日期 2000.11.17
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 DREWERY, JOHN, STEPHEN;REYNOLDS, GLYN;RUSSELL, DERREK ANDREW;BRCKA, JOZEF;VUKOVIC, MIRKO;GRAPPERHAUS, MICHAEL, JAMES;CERIO, FRANK, MICHAEL, JR.;GITTELMAN, BRUCE, DAVID
分类号 C23C14/32;H01J37/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H05H1/46 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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