流体喷射器上的热氧化物涂层

摘要

一种流体喷射器，所述流体喷射器包括流路体、第一氧化物层、膜和第二氧化物层。所述流路体具有第一外表面和相反的第二外表面以及多个流路，每个流路至少从所述第一外表面延伸至所述第二外表面。第一氧化物层至少覆盖流路中的每一个的内表面和流路体的第一和第二外表面，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度。膜具有第一外表面。第二氧化物层涂覆在膜的第一外表面上，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度，并且使第二氧化物层与第一氧化物层结合。

主权项

一种流体喷射器，所述流体喷射器包括：流路体，所述流路体具有第一外表面和相反的第二外表面以及多个流路，每个流路至少从所述第一外表面延伸至所述第二外表面；第一氧化物层，所述第一氧化物层至少覆盖所述流路中的每一个的内表面和所述流路体的所述第一和第二外表面，其中所述氧化物层具有沿{100}平面变化小于5％的厚度；具有第一外表面的膜；和第二氧化物层，所述第二氧化物层涂覆在所述膜的所述第一外表面上，其中所述第二氧化物层具有沿{100}平面变化小于5％的厚度，并且其中使所述第二氧化物层与所述第一氧化物层结合。