沉积系统、ALD系统、CVD系统、沉积方法、ALD方法及CVD方法

摘要

一些实施例包含经配置以用于借助提供于反应室的下游的一个或一个以上捕集器来收回未反应的前驱物的沉积系统。所述沉积系统中的一些沉积系统可利用两个或两个以上捕集器，所述两个或两个以上捕集器相对于彼此并联连接且经配置使得所述捕集器可交替地用于捕集前驱物及将所捕集的前驱物释放回到所述反应室中。所述沉积系统中的一些沉积系统可经配置以用于ALD，且一些沉积系统可经配置以用于CVD。

主权项

一种沉积系统，其包括：反应室；多个前驱物捕集器，其与所述反应室流体连通；所述前驱物捕集器经配置以在第一条件下捕集前驱物且在第二条件下释放所述所捕集的前驱物；流动路径，前驱物沿着所述流动路径流动到所述室、穿过所述室并从所述室流出；且其中所述前驱物捕集器中的至少两者沿着所述流动路径相对于彼此并联连接，使得所述前驱物捕集器中的所述至少两者中的一者可用作用于所述室中的反应的前驱物的源，而所述前驱物捕集器中的所述至少两者中的另一者用于收集从所述室排出的未反应的前驱物。