一种晶体硅铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型涉及一种晶体硅铸锭炉热场结构，特征在于保温隔热笼呈二段式，由固设在炉体顶部上的上隔热笼和固设在炉体底部升降装置上的下隔热笼组合构成，上隔热笼呈倒扣的桶型，由互连呈一体的顶部保温板和下边沿带内翻式L形上隔热环的上侧保温筒构成，顶部保温板内表面上衬设有内凹式弧形反射罩，下隔热笼呈正立桶形，由互连呈一体的底部保温板和上边沿带L形内翻式下隔热环的下侧保温筒构成，固设在炉体底部受外控的升降装置上，上下隔热环将保温隔热笼内腔分隔成上部高温区和下部低温区。晶体硅生产所需热场通过升降装置调节下隔热笼的升降开度实现，具有结构简单且合理，显著节能，建立的热场稳定性和重复性均好，温度梯度不易受到气流扰动干扰等优点，有很强的实用性。

主权项

一种晶体硅铸锭炉热场结构，包含有炉体(1)、与水冷电极(2)相连的发热体(3)、保温隔热笼(4)、上设有坩埚(5)和下带支柱(6)的热交换台(7)，其特征在于保温隔热笼(4)呈二段式，由固定设置在炉体顶部位置上的上隔热笼(8)和固定设置在炉体底部升降装置(9)上的下隔热笼(10)组合构成，其中：a.所述的上隔热笼(8)主体呈倒扣的桶型，由互连呈一体的顶部保温板(11)和下边沿设置有内翻式L形上隔热环(12)的上侧保温筒(13)构成，顶部保温板(11)的内表面上衬设有便于热量反射后聚焦于坩埚内的内凹式、由具有较强热反射能力的钼或钨箔片充任的弧形反射罩(14)；b.所述的下隔热笼(10)主体呈正立桶型，与上隔热笼(8)相对应，由互连呈一体的底部保温板(15)和上边沿设置有L形内翻式下隔热环(16)的下侧保温筒(17)构成，下隔热笼(10)固定设置在炉体底部受外控的升降装置(9)上；c.所述的上隔热环(12)和下隔热环(16)设置在发热体(3)和热交换台(7)之间，将保温隔热笼(4)的内腔分隔、形成上部高温区(18)和下部低温区(19)。