多晶硅分解炉

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体和设在炉体底部的底盘，炉体和底盘上均设有冷却水夹套，底盘上均布有二十四对电极座和十二个进气孔，每个进气孔对应相邻两对电极座，电极座上安装有硅芯；所述硅芯外套装有导热油夹套，该导热油夹套的内圈直径大于硅芯直径。硅烷通过进气孔进入炉体内后在高温通电硅芯上分解，生成棒状多晶硅产品。通过导热油夹套对硅芯周围的温度进行有效的控制，达到控制多晶硅生长速度的目的，使得大多数硅烷在硅芯的表面上分解，大大减少多晶硅颗粒的形成，提高了生产效率。硅芯周围的温度得到有效控制，可降低生产能耗，避免炉体内温度过高提高炉体的设计壁厚，降低了分解炉的制造成本。

主权项

一种多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体和设在炉体底部的底盘，炉体和底盘上均设有冷却水夹套，其特征在于：所述底盘上均布有二十四对电极座和十二个进气孔，每个进气孔对应相邻两对电极座，电极座上安装有硅芯；所述硅芯外套装有导热油夹套，该导热油夹套的内圈直径大于硅芯直径。