发明名称 |
光收发一体装置 |
摘要 |
本发明公开了一种光收发一体装置,包括:硅衬底、半导体的绝缘层及附着在所述半导体的绝缘层上的硅层;所述半导体的绝缘层设置于所述硅衬底及硅层之间;所述硅层集成有激光驱动器、跨阻放大器、限幅放大器、波导及模斑转换器;所述硅层表面附着有激光器、光检测器或雪崩光电二极管。通过将LDD、TIA、LA等光收发一体装置所需电路集成在SOI衬底上,使得光收发一体装置尺寸减小,并只需对LD、PD/APD等分立光组件进行附着装配,实现光收发一体装置的混合集成,简化了装配工艺,有效降低了光收发一体装置成本。 |
申请公布号 |
CN102156333A |
申请公布日期 |
2011.08.17 |
申请号 |
CN201010292522.5 |
申请日期 |
2010.09.21 |
申请人 |
华为技术有限公司 |
发明人 |
颜学进;钟德刚;易永江;付生猛;李胜平;高建河 |
分类号 |
G02B6/42(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/42(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
刘芳 |
主权项 |
一种光收发一体装置,其特征在于,包括:硅衬底、半导体的绝缘层及附着在所述半导体的绝缘层上的硅层;所述半导体的绝缘层设置于所述硅衬底及硅层之间;所述硅层集成有激光驱动器、跨阻放大器、限幅放大器、波导及模斑转换器;所述硅层表面附着有激光器、光检测器或雪崩光电二极管。 |
地址 |
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼 |