| 发明名称 | 大型真空化学气相沉积石墨化处理多功能炉 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种大型真空化学气相沉积石墨化处理多功能炉，包括沉积气路系统、焦油收集处理系统(21)、带脉冲反吹功能的收尘过滤及风冷系统(20)和真空系统(22)，沉积气路系统是在沉积室(18)的顶部均匀排布设有多个与混合气体供气管路(11)连接的喇叭形顶部进气管(2)，在沉积室(18)的底部均匀排布设有多个与排气管路(8)连接的喇叭形排气管(4)，排气管路(8)的出口与焦油收集处理系统(21)连接。本实用新型适用于大型材料或制品进行真空化学气相沉积，并且炉内温度均匀、气流场稳定、气相沉积均匀、焦油收集和处理效果较好、可快速冷却物料并收集炉内粉尘、装卸料方便、运行可靠、操作简单、维修成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN201933151U | 申请公布日期 | 2011.08.17 |
| 申请号 | CN201020687799.3 | 申请日期 | 2010.12.29 |
| 申请人 | 戴煜;羊建高;谭兴龙 | 发明人 | 戴煜;羊建高;谭兴龙 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人 | 邓建辉 |
| 主权项 | 一种大型真空化学气相沉积石墨化处理多功能炉，包括炉壳(17)、沉积室(18)、沉积气路系统、焦油收集处理系统(21)、带脉冲反吹功能的收尘过滤及风冷系统(20)和真空系统(22)，其特征是：所述的沉积气路系统是在所述的沉积室(18)的顶部均匀排布设有多个与混合气体供气管路(11)连接的喇叭形顶部进气管(2)，在所述的沉积室(18)的底部均匀排布设有多个与排气管路(8)连接的喇叭形排气管(4)，所述的排气管路(8)的出口与所述的焦油收集处理系统(21)连接。 | ||
| 地址 | 410118 湖南省长沙市中意二路暮云工业区顶立科技园 | ||