一种扇形阵列探测器及其制作方法

摘要

一种扇形阵列探测器及其制作方法，属于探测器制造领域。其结构为：由N型材料基底和注入硼离子产生的P型区构成的圆形PN结探测片，圆形PN结探测片外圆周及边缘上有透明导电氧化物薄膜、在圆形PN结探测片上进行光刻产生的多个单一扇形探测阵元组成的阵列，扇形探测阵列表面及阵列间的缝隙中沉积有绝缘介质膜；在透明导电氧化物薄膜上焊接铜引脚，引出导线连接数据采集系统。能够以低阵元数探测阵列输出高像素数图像，该扇形阵列探测器的结构设计方法可以应用于大规模阵列探测的制造中，在可见光CCD探测器和红外CCD、红外热像焦平面阵列探测器、测温探测器领域有着广泛的应用前景。本发明大幅降低探测器制造成本，提高探测精确度。

主权项

一种扇形阵列探测器，其特征在于，其结构从上至下为：N型材料基底和注入硼离子产生的P型区构成的圆形PN结探测片，圆形PN结探测片外圆周及边缘上有透明导电氧化物薄膜、在圆形PN结探测片上进行光刻产生的多个单一扇形探测阵元组成的阵列，扇形探测阵列表面及阵列间的缝隙中沉积有绝缘介质膜；在透明导电氧化物薄膜上焊接铜引脚，引出导线连接数据采集系统。