| 发明名称 | 钽靶材的织构形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明是一种钽靶材的织构形成方法，以钽锭为原料，其工艺过程依次为：锻造、酸洗、热处理、轧制、二次酸洗、二次热处理、校平、下料、车削。本发明在应用时，在溅射中会使被溅射的晶粒溅射速率趋近相同、溅射原子角度分布轨迹趋近相同，这样就会获得薄膜厚度均匀一致的镀层，同时，钽靶的材料使用率亦得到大幅提高，本发明不仅填补了我国此方面的研究空白，同时也站在了世界上的技术前沿。 | ||
| 申请公布号 | CN101704187B | 申请公布日期 | 2011.08.17 |
| 申请号 | CN200910117586.9 | 申请日期 | 2009.11.13 |
| 申请人 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 发明人 | 李桂鹏;钟景明;同磊;张春恒;赵永生;汪凯;张全 |
| 分类号 | B23P17/04(2006.01)I;C23G1/10(2006.01)I;C22F1/16(2006.01)I;B21B1/02(2006.01)I | 主分类号 | B23P17/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人 | 叶学军 |
| 主权项 | 一种钽靶材的织构形成方法，以钽锭为原料，其工艺过程依次为：锻造、酸洗、热处理、轧制、二次酸洗、二次热处理、校平、下料、车削；上述锻造采用旋锻法；上述酸洗和二次酸洗采用盐酸和氢氟酸的混合酸，两者的体积比为5∶2；上述热处理和二次热处理的温度为钽材料熔点的20％‑25％，保温时间为60分钟。 | ||
| 地址 | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号 | ||