一种干法刻蚀硅片的自动检测方法

摘要

一种干法刻蚀硅片的自动检测方法。本发明为光伏行业中太阳能电池生产过程中对干法刻蚀硅片进行自动检测的方法，主要涉及到夹具、硅片、固定表笔、游动表笔、游动表笔测针、行走机构、电磁条、电磁板和数字万用表几个主要部件。其方法主要由游动表笔的行走机构以0.5-1.0cm/s的速度在移动中，通过游动表笔测针接触到硅片的边缘进行检测，游动表笔测针和硅片在与电磁板和数字万用表组成的回路中显示出不断变化的电阻值，然后将这些电阻值传输到计算机系统进行识别分类、实时显示和储存。本发明可实现对干法刻蚀后夹具上的硅片由局部抽检到全面检测的转变，具有提高检测准确度和检测范围的作用，检测过程方便快捷，降低了检测难度，尤其是在减少和杜绝人工检测结果与实际情况不符的现象上效果明显。

主权项

一种干法刻蚀硅片的自动检测方法，其特征在于，所述方法涉及到夹具(1)、硅片(2)、固定表笔(3)、固定表笔按钮(4)、电磁板(5)、游动表笔(6)、游动表笔按钮I(7)、游动表笔按钮II(8)、游动表笔测针(9)、行走机构(10)、电磁条(11)、PP板(12)、上压板(13)、下托板(14)和数字万用表(15)共15个部件，并包括以下步骤：a.将硅片(2)同夹具(1)一并从刻蚀机内取出放置在工作台面上；b.一只手拿起固定表笔(3)并选择硅片(2)侧边边缘的任意一处，将电磁板(5)接触到硅片(2)的边缘，同时按动固定表笔按钮(4)，电磁板(5)的磁性随之出现，并与上压板(13)和下托板(14)之间产生磁力，使其与硅片(2)边缘接触紧密；C.另一只手拿起游动表笔(6)也选择硅片(2)侧边边缘的任意一处，将PP板(12)接触到硅片(2)的边缘，此时游动表笔测针(9)也同时接触到硅片(2)的边缘，随后按动游动表笔按钮I(7)，电磁条(11)的磁性也随之出现，也与上压板(13)和下托板(14)之间产生穿透PP板(12)的磁力，使游动表笔测针(9)与硅片(2)边缘接触紧密；d.接着按动游动表笔按钮II(8)，行走机构(10)将从硅片(2)最底部边缘的起始点0位置由下至上开始以0.5‑1.0cm/s的速度移动，同时，游动表笔测针(9)在随行走机构(10)的移动中，游动表笔测针(9)分别接触到每一张硅片(2)的边缘，游动表笔测针(9)和硅片(2)在与电磁板(5)和数字万用表(15)组成的回路中显示出不断变化的电阻值，这些电阻值即构成为对每一张硅片(2)实时检测后的电阻值；e.在随行走机构(10)的移动中，所检测到每一张硅片(2)的电阻值将通过数字万用表(15)向计算机系统连续不断的传输，并通过计算机系统进行识别分类，将刻蚀不合格的硅片(2)电阻值及区位分布实时显示出来，同时将所有检测数据资料进行储存备查；f.当行走机构(10)移动到硅片(2)最顶端边缘并接触到终点开关时，游动表笔测针(9)的检测工作自动停止，随后行走机构(10)开始向下快速返回，直到最底部的起始点0位置便自动停止下来；g.两支手的母指分别按动固定表笔按钮(4)和游动表笔按钮I(7)后，电磁板(5)和电磁条(11)的磁性将分别消失，即时取下固定表笔(3)和游动表笔(6)放在工作台面的一边，以备下次使用，此时对干法刻蚀硅片(2)的一次自动检测工作就此结束。