反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器

摘要

本发明是一种反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器。反应器具有多个独立热库。每一热库可通过加热与冷却的方式，来调整热库温度。第一热库与第二热库面对面相对设置，且两者内侧具有一预定的距离及一预定的夹角。第一热库上可放置至少一基板，基板位于的一热库与第二热库之间，且第二热库的温度较第一热库的温度为高，以增进反应物的热分解效率。

主权项

一种反应器，用以在至少一基板上形成一薄膜，其特征在于，包含：一第一热库；以及一第二热库，该第一热库与该第二热库面对面相对设置，以形成一反应区，两个热库相对的内侧面具有一夹角，且该第一热库的温度与该第二热库的温度可独立控制，其中该第一热库用以放置该至少一基板，且该至少一基板位于该第一热库与该第二热库之间，并在该第一热库上的该至少一基板形成一薄膜。