一种提高ZnO薄膜材料的压电常数的方法

摘要

本发明公开了属于新材料技术领域的一种提高ZnO薄膜材料的压电常数的方法。制备掺入不同Fe含量的ZnO薄膜，Fe掺杂的ZnO薄膜组成成分及各成分原子百分比为：0≤Fe≤2.6at.％，47.4at.％≤Zn≤50at.％，其余为O；对Fe掺杂的ZnO薄膜在O2气氛下进行热处理。当Fe含量为1.2at.％时，Fe掺杂的ZnO薄膜可以不进行热处理也能有较大的压电常数。通过合适的Fe含量掺杂或者在O2气氛下退火，可以提高ZnO薄膜材料的压电常数，得到比未掺杂的ZnO薄膜大一个数量级的压电常数。

主权项

一种提高ZnO薄膜材料的压电常数的方法，其特征在于：制备掺入不同Fe含量的ZnO薄膜，Fe掺杂的ZnO薄膜组成成分及各成分原子百分比为：0＜Fe≤2.6at.％，47.4at.％≤Zn≤50at.％，其余为O；当Fe掺杂的ZnO薄膜中Fe含量不为1.2at.％时，对Fe掺杂的ZnO薄膜在O2气氛下进行热处理，经上述步骤来提高ZnO薄膜材料的压电常数。