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发明名称 Plasma treatment facility
摘要
申请公布号 EP2039800(B1) 申请公布日期 2011.08.17
申请号 EP20080014653 申请日期 2008.08.18
申请人 KRONES AG 发明人 KRAUS, ANDREAS;KRUEGER, JOCHEN
分类号 C23C16/455;C23C16/04 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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