| 发明名称 | 一种用于硅片清洗后的快速干燥装置 | ||
| 摘要 | 一种用于硅片清洗后的快速干燥装置，它包括：多孔螺旋式高压雾化装置，控温加热室，干燥槽，阀门组，氮气供应管路，其中氮气主管路将多孔螺旋式高压雾化装置、加热控温室、干燥槽依次串联，同时在氮气主管路入口位置引入一条氮气旁路，该旁路管道通过阀门接一三通，三通另二个出口分别接在多孔螺旋式高压雾化装置出口、加热控温室入口，高压雾化装置进、出口分别设阀门1和阀门2。本实用新型的优点是：可以使IPA汽雾中IPA的粒径更小，以此达到均匀快速的干燥硅片的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN201935527U | 申请公布日期 | 2011.08.17 |
| 申请号 | CN201020662808.3 | 申请日期 | 2010.12.08 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 盛方毓;冯泉林;闫志瑞;葛钟;库黎明;索思卓 |
| 分类号 | F26B5/00(2006.01)I;F26B21/14(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | F26B5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 一种用于硅片清洗后的快速干燥装置，其特征在于：它包括：多孔螺旋式高压雾化装置，控温加热室，干燥槽，阀门组，氮气供应管路，其中氮气主管路将多孔螺旋式高压雾化装置、加热控温室、干燥槽依次串联，同时在氮气主管路入口位置引入一条氮气旁路，该旁路管道通过阀门接一三通，三通另二个出口分别接在多孔螺旋式高压雾化装置出口、加热控温室入口，高压雾化装置进、出口分别设阀门1和阀门2。 | ||
| 地址 | 100088 北京市新街口外大街2号 | ||