发明名称 |
一种基于SOI工艺及微组装技术的三轴电容式微加速度计 |
摘要 |
三轴电容式微加速度计包括SOI基片、质量块、挠性梁、齿枢、固定电极和活动电极。结构为中心对称图形,通过XY平面、Z轴方向的质量块分别感知三个正交方向的加速度。通过XY平面上的回形梁和Z轴方向上的挠性梁的设计,使得三个正交方向上的加速度灵敏度和分辨率都有所提高。除外,SOI工艺的应用,使本发明具有寄生电容小、短沟道效应小、速度快、集成度高、功耗低、耐高温、抗辐射等优点。最后,通过微组装技术这种新颖的方式有效的解决了微器件封装的难题。 |
申请公布号 |
CN102156201A |
申请公布日期 |
2011.08.17 |
申请号 |
CN201010564371.4 |
申请日期 |
2010.11.30 |
申请人 |
电子科技大学 |
发明人 |
徐利梅;陈敏;朱波杰;王金林;李安静 |
分类号 |
G01P15/125(2006.01)I;G01P15/18(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种三轴电容式微加速度计,其特征在于:由下基片12、上基片13组成;每个基片分为内层结构和外层结构;槽1位于内层结构和外层结构之间;在上基片13中,悬架在槽1内的Z轴质量块6通过四个挠性梁5锚接在外层结构四角的锚点11上;Z轴活动极板7由Z轴质量块6四侧向外伸出;平面质量块8通过回形梁10锚接在上基片13内层结构的锚点11上;平面活动极板9由平面质量块8向外伸出;在下基片12中,Z轴固定极板2对称分布在外层结构内侧的四边,齿梳3成对上下左右对称分布在下基片12的内层结构上,平面固定极板4由齿梳3向外伸出;通过微组装技术将上基片13和下基片12对位组装,形成一个完整的检测体系。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新西区西源大道2006号 |