有机/无机杂化纳米级多孔防反射涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层。以聚(甲基丙烯酸甲酯-b-甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)为前驱体通过溶胶-凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层或以聚(甲基丙烯酸甲酯-b-甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)与正硅酸乙酯的混合物为前驱体通过溶胶-凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层，有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层的厚度为42.5～162.8nm，孔隙率为23.2％～56.9％，孔径为5～10nm。本发明以嵌段共聚物微相分离后的微相形态作为模板来制备纳米多孔防反射涂层，其孔径大小易于控制且孔径分布均一，防反射涂层基本构架为Si-O-Si结构，机械性能优异，抗褶皱耐摩擦，且富含Si-OH官能团，可以有效的解决由目前技术上制备的防反射涂层和各类基底的黏附问题。

主权项

一种有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层，其特征在于：以聚(甲基丙烯酸甲酯‑b‑甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)为前驱体通过溶胶‑凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层或以聚(甲基丙烯酸甲酯‑b‑甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)与正硅酸乙酯的混合物为前驱体通过溶胶‑凝胶过程得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层，有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层的厚度为42.5～162.8nm，孔隙率为23.2％～56.9％，孔径为5～10nm；所述的聚(甲基丙烯酸甲酯‑b‑甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)中的甲基丙烯酸甲酯链段的数均分子量为7000～15000，聚(甲基丙烯酸甲酯‑b‑甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)中的甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷链段的数均分子量为6000～40000；具体制备方法包括如下步骤：1)在重量百分比浓度为2％～10％的聚(甲基丙烯酸甲酯‑b‑甲基丙烯酰氧丙基三乙基硅烷)溶液中，加入重量百分比浓度为0.5％～10％的正硅酸乙酯，均匀混合，得到混合液，用匀胶机将混合液在基底表面旋涂成厚度为80～160nm有机/无机杂化纳米涂层；2)将有机/无机杂化纳米涂层置于有机溶剂的饱和气氛中，有机溶剂退火1～7天，然后置于真空烘箱中50～120℃下退火1～5天，退火结束，用冰块迅速冷却；接着置于氨水的气氛中1～5天，放入真空烘箱中干燥；再置于紫外灯下照射，制备得到有机/无机杂化纳米多孔防反射涂层。