一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机

摘要

本发明公开的可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机，包括机架(1)上安装的进给系统、钻机头系统、卡具(6)、冷却系统；所述钻机头系统设置在进给系统的大托盘(3)上，所述卡具对应于钻机头系统设置；其特征在于：所述钻机头系统包括电机A(31)、钻轴固定座(13)、设置在钻轴固定座上的钻轴(15)、设置在钻轴一端的钻头(14)、设置在钻轴另一端的旋转接头(23)，钻轴设置有内孔，钻头和旋转接头设置有与钻轴内孔贯通的冷却水通道(18)；该钻机可以满足孔式搭接技术中对硅芯孔的使用要求，实现在硅芯上磨钻孔且自动排屑，另外自动排屑功能减去了钻孔过程中的人工盯点，不仅节约了成本，而且大大提高了生产效率。

主权项

一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机，包括机架上安装的进给系统、钻机头系统、卡具、冷却系统；所述钻机头系统设置在进给系统的大托盘(3)上，所述卡具对应于钻机头系统设置；其特征在于：所述钻机头系统包括电机A(31)、钻轴固定座(13)、设置在钻轴固定座上的钻轴(15)、设置在钻轴一端的钻头(14)、设置在钻轴另一端的旋转接头(23)，钻轴(15)设置有内孔，钻头(14)和旋转接头设置有与钻轴(15)内孔贯通的冷却水通道；所述钻头(14)分为夹持部分(16)和钻头工作部分(17)；钻头(14)内部设有冷却水通道(18)，钻头设有进水孔(24)和出水孔(20)；所述进水孔(24)和出水孔(20)与冷却水通道(18)贯通；钻头工作部分(17)顶端设有钻头端面(19)，钻头端面上至少设有一个出水孔(20)，并且应有出水孔包含钻头(14)的回转中心点；包含钻头回转中心点的出水孔(20)具有以钻头回转中心点为圆心形成的内切圆(25)；在钻头(14)上至少有一个出水孔的最大内切圆(26)直径大于以钻头(14)回转中心点为圆心形成的内切圆(25)的直径。