一种硅片预对准装置及预对准方法

摘要

本发明公开了一种硅片预对准装置及预对准方法，所述硅片预对准装置包括机械视觉系统、旋转台及机械手，所述旋转台同时具有硅片的定心和硅片缺口的定向的功能，不需再增加其它定向结构。同时，本发明还公开了一种预对准方法，所述预对准方法将硅片的定心、硅片缺口的定向都在旋转台上进行，定心后不需对硅片进行真空交接后再定向，从而提高了预对准的精度。

主权项

一种硅片预对准装置，用于实现硅片的定心和硅片缺口的定向，包括机械视觉系统、旋转台以及机械手，其特征在于：机械视觉系统：用于对硅片圆周边缘进行扫描采样，拟合出硅片的型心，以及对硅片的缺口进行粗定位及细采样，拟合出缺口的中心位置；旋转台：用于承载硅片，且旋转台将硅片的缺口旋转到指定位置，在所述指定位置处，硅片的型心与缺口的中心位置的连线平行于X轴正方向，此时硅片的型心到旋转台的型心的偏移量分别为Δx，Δy；且进一步使旋转台沿Y向移动，以补偿上述偏移量Δy；机械手：用于抓取硅片沿X向移动，以补偿上述偏移量Δx。