材料气体浓度控制系统及材料气体浓度控制系统用程序

摘要

本发明的材料气体浓度控制系统是用于材料气化系统(100)，此材料气体浓度控制系统具备：第1阀(23)，设于所述导出管(12)上；浓度测定部(CS)，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；浓度控制部(CC)，控制所述第1阀(23)的开度，以使得由所述浓度测定部(CS)所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；调温器(41)，对所述储罐内的温度进行调温，以使其达到设定温度；以及温度设定部(42)，设定所述调温器的设定温度。本发明还提供了材料气体流量控制系统及材料气体浓度控制系统用程序。

主权项

一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统，该材料气化系统具备收容材料的储罐、将使所收容的所述材料气化的载气导入所述储罐的导入管、及从所述储罐导出所述材料气化后的材料气体及所述载气的混合气体的导出管，此材料气体浓度控制系统的特征在于包括：第1阀，设于所述导出管上；浓度测定部，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；浓度控制部，控制所述第1阀的开度，以使由所述浓度测定部所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；调温器，进行调温以使所述储罐内的温度达到设定温度；以及温度设定部，设定所述调温器的设定温度，且当所述第1阀的开度超过根据可动范围的开放极限开度而定的开放侧阈值开度时，所述温度设定部将设定温度变更为比在此时刻所设定的设定温度更高的温度。