电容型机电变换器

摘要

本发明涉及电容型机电变换器。提供可动区域中的电极不太可能影响可动区域的机械特性并且可动区域中的电极的表面的不均匀电势分布受到抑制的变换器。所述变换器包含第一电极和与第一电极相对的第二电极，在它们之间插入间隙。第一电极的单位面积的电阻在相对于第二电极的可动区域和相对于第二电极的不可动区域中不同。可动区域中的第一电极和不可动区域中的第一电极具有不同的厚度。

主权项

一种变换器，包括：第一电极；和第二电极，所述第二电极与第一电极相对，在第一电极和第二电极之间插入间隙，其中，执行通过借助于产生在第一电极和第二电极之间被调制的静电吸引力以使第一电极振动来发射弹性波的发射操作和检测由于第一电极中的振动而导致的第一电极和第二电极之间的电容的变化的接收操作中的至少一个，其中，第一电极的单位面积的电阻在相对于第二电极的可动区域和不可动区域中不同，以及其中，可动区域中的第一电极的厚度小于或等于不可动区域中的第一电极的厚度。