一种高真空衬氟设备

摘要

本发明公开了一种真空衬氟设备，提供了一种结构简单、使用效果好、延长使用寿命，可在强腐蚀、高温、高真空条件下正常使用的真空衬氟设备，解决了现有技术中存在的真空衬氟设备在高温、高真空条件下使用时衬氟层易出现鼓泡、脱落，需要经常维护及修复设备，从而降低设备的使用寿命、降低生产效率、提高生产成本等的技术问题，它包括与真空系统相连的密封结构，在密封结构的内壁面上设有耐腐蚀的氟衬层，在所述氟衬层与密封结构的内壁面之间设有吸附腔，所述吸附腔通过密封结构上的吸附腔排气口与密封结构外的附加真空系统相连通。

主权项

一种高真空衬氟设备，包括与真空系统相连的密封结构，在密封结构的内壁面上设有耐腐蚀的氟衬层，其特征在于：在所述氟衬层（1）与密封结构（2）的内壁面之间设有吸附腔（3），所述吸附腔（3）通过密封结构（2）上的吸附腔排气口（21）与密封结构（2）外的附加真空系统（4）相连通，并通过附加真空系统（4）在氟衬层（1）外侧生成负压环境；在所述吸附腔（3）内设有与氟衬层（1）抵接的多孔板（31）及支撑在多孔板（31）与密封结构（2）内壁间的定位支撑架（32），所述氟衬层（1）通过多孔板（31）与附加真空系统（4）相连通或在所述吸附腔（3）的氟衬层（1）与密封结构（2）的内壁面之间夹设有带有通孔网格（51）的支撑网（5），与支撑网（5）上的通孔网格（51）对应的氟衬层（1）面积为2mm2至30 mm2，且与通孔网格（51）对应的氟衬层（1）面积总和占氟衬层（1）总面积的30%至70%，所述氟衬层（1）通过通孔网格（51）与附加真空系统（4）相连通。