去除TFT-LCD制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物

摘要

本发明涉及一种去除TFT-LCD制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物，更特别地涉及一种剥离组合物，该剥离组合物在滤色器工艺期间选择性除去质量差的衬底的彩色抗蚀剂，因此能够重复使用衬底。本发明的剥离组合物具有经济的优点，由于它能够实现滤色器衬底的循环使用，而先前该衬底由于彩色抗蚀剂图案难以脱除而被浪费。

主权项

一种用于除去彩色抗蚀剂的剥离组合物，包括：(a)1～10wt％无机碱金属氢氧化物或氢氧化烷基铵；(b)40～95wt％二甲亚砜；和(c)4～50wt％水，基于组分(a)、(b)和(c)的重量百分比之和100wt％，其中，所述组合物进一步包括(d)1wt％的水溶性羟基胺、2wt％的N‑甲基‑2‑吡咯烷酮和3wt％的1‑甲氧基‑2‑丙醇的混合物；2wt％的水溶性羟基胺、2wt％的N‑甲基‑2‑吡咯烷酮、0.1wt％的乙酸钾和10wt％的N‑甲基乙基胺的混合物；2wt％的水溶性羟基胺、2wt％的N‑甲基‑2‑吡咯烷酮、0.3wt％的乙酸钾和10wt％的N‑甲基乙基胺的混合物；或者1wt％的水溶性羟基胺、3wt％的1‑甲氧基‑2‑丙醇和0.3wt％的乙酸钾的混合物；并且其中所述组合物用于在滤色器工艺期间选择性除去质量差的衬底的彩色抗蚀剂，因而使玻璃衬底能被再使用。