发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TIEFENAUFGELÖSTEN OPTISCHEN ERFASSUNG EINER PROBE
摘要
申请公布号 AT517332(T) 申请公布日期 2011.08.15
申请号 AT20060805711T 申请日期 2006.09.14
申请人 CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH 发明人 WOLLESCHENSKY, RALF
分类号 G01N21/64;G02B21/00 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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