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发明名称 SPUTTER-TARGET MIT LANGSAMSPUTTER-SCHICHT UNTER TARGETMATERIAL
摘要
申请公布号 AT520143(T) 申请公布日期 2011.08.15
申请号 AT20060785376T 申请日期 2006.06.21
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 MAYER, RAYMOND M.;LU, YIWEI
分类号 H01J37/34;C23C14/34;C23C14/50 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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