发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINESHALBLEITERBAUELEMENTS MIT MOS-TRANSISTOREN MIT GATE-ELEKTRODEN, DIE IN EINEMPAKET VON AUFEINANDER ABGELAGERTEN METALLSCHICHTEN AUSGEBILDET SIND |
摘要 |
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申请公布号 |
AT517431(T) |
申请公布日期 |
2011.08.15 |
申请号 |
AT20040702397T |
申请日期 |
2004.01.15 |
申请人 |
NXP B.V. |
发明人 |
LANDER, ROBERT;HOOKER, JACOB;WOLTERS, ROBERTUS |
分类号 |
H01L21/8234;H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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