发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINESHALBLEITERBAUELEMENTS MIT MOS-TRANSISTOREN MIT GATE-ELEKTRODEN, DIE IN EINEMPAKET VON AUFEINANDER ABGELAGERTEN METALLSCHICHTEN AUSGEBILDET SIND
摘要
申请公布号 AT517431(T) 申请公布日期 2011.08.15
申请号 AT20040702397T 申请日期 2004.01.15
申请人 NXP B.V. 发明人 LANDER, ROBERT;HOOKER, JACOB;WOLTERS, ROBERTUS
分类号 H01L21/8234;H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
地址