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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN AKTIVES GEBIET UND EINE FLACHE GRABENISOLATION SELBSTJUSTIERT ZU EINEM TIEFEN GRABEN
摘要
申请公布号 AT519228(T) 申请公布日期 2011.08.15
申请号 AT20000103964T 申请日期 2000.02.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DIVAKARUNI, RAMA;GRUENING, ULRIKE;KIM, BYEONG Y.;MANDELMAN, JACK;NESBIT, LARRY;RADENS, CARL
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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