| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON ABLAGERUNGSKAMMERTEILEN MITHILFE DER SELEKTIVEN SPRITZÄTZUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT518018(T) |
申请公布日期 |
2011.08.15 |
| 申请号 |
AT20080159251T |
申请日期 |
2008.06.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BAO, LIYUAN;JIANG, ANBEI;TAN, SAMANTHA S. H. |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/44;C23F1/00;C23F1/08;C23F1/26;C23F1/44;C23G1/00;C23G3/00 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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