| 摘要 |
En reaktor for fremstilling av silisium, idet minst en hoveddel av reaktoren fortrinnsvis er bygget i silisium eller har et indre belegg av silisium, sli at en silisiumoverflate er den indre overflate mot minst en del av et reaktorvolum, særpreget ved at reaktoren omfatter eller er operativt anordnet til minst en innretning for å sette en silisiumholdig reaksjonsgass for kjemisk dampavsetning (CVD) i rotasjon i reaktorvolumet. Fremgangsmåte for fremstilling av silisium. |
