半导体晶圆洗净承接辅助装置

主权项

一种半导体晶圆洗净承接辅助装置，供设置于一洗净槽内，并承接一晶圆架上的复数晶圆，其包含：二承接板，该二承接板分设于该洗净槽内相对的两内壁，且该二承接板各设有相对向的一承接部，该二承接部的间距小于该复数晶圆的直径，并该二承接部上各设有容置该复数晶圆的复数容槽。如申请专利范围第1项所述之半导体晶圆洗净承接辅助装置，其中该二承接部各具有一方向朝上的斜面，该复数容槽形成于该斜面上。如申请专利范围第2项所述之半导体晶圆洗净承接辅助装置，其中该二斜面的底部各形成一缺角。如申请专利范围第1项所述之半导体晶圆洗净承接辅助装置，其中该二承接部的两侧面各具有一挡板。