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一种面板检测装置，系设置于一蒸镀机之一检测室，该检测室设有一用以将一待测面板予以定位之定位装置，该待测面板设有复数个电极接点，该面板检测装置包含：一检测平台；至少一电极模组，系设置于该检测平台；一控制模组，系电性连结于该电极模组，并控制该电极模组与该待测面板之间产生一相对移动，藉以依据一检测条件，选择性地使该电极模组电性连通于该些电极接点之至少二者，据以构成一满足该检测条件之光学检测电路；以及一光学特性侦测元件，系设置于该检测平台，藉以侦测一在该光学检测电路构成时所投射之光束，并据以获得一光学特性数据。如申请专利范围第1项所述之面板检测装置，更包含一影像感测模组，该影像感测模组系设置于该检测平台，并电性连结于该控制模组，用以感测一面板影像，并将该面板影像传送至该控制模组，使该控制模组依据该面板影像校正该电极模组与该待测面板间之该相对移动之位置。如申请专利范围第2项所述之面板检测装置，其中，该影像感测模组包含一电荷耦合装置(Charge Coupled Device；CCD)，该电荷耦合装置系电性连结于该控制模组。如申请专利范围第1项或第2项所述之面板检测装置，其中，该光学特性侦测元件系为一辉度计。一种蒸镀机，包含：一蒸镀室，系将一面板依据一蒸镀程序进行蒸镀；一检测室，系邻接于该蒸镀室；一定位装置，系设置于该检测室，用以将该面板予以定位，该面板设有复数个电极接点；一面板检测装置，系设置于该检测室，并且包含：一检测平台；至少一电极模组，系设置于该检测平台；一控制模组，系电性连结于该电极模组，并控制该电极模组与该面板之间产生一相对移动，藉以依据一检测条件，选择性地使该电极模组电性连通于该些电极接点之至少二者，据以构成一满足该检测条件之光学检测电路；以及一光学特性侦测元件，系设置于该检测平台，藉以侦测一在该光学检测电路构成时所投射之光束，并据以获得一光学特性数据；一分隔组件，系可移动地设置于该蒸镀室与该检测室之间，并在该面板于该蒸镀室内进行该蒸镀程序时分隔该蒸镀室与该检测室，且在该蒸镀程序完成后开通该蒸镀室与该检测室；以及一移载组件，系可移动地设置于该蒸镀机内，并在该分隔组件开通该蒸镀室与该检测室时，将该经该蒸镀程序蒸镀完成之面板自该蒸镀室移至该检测室。如申请专利范围第5项所述之蒸镀机，其中，该面板检测装置更包含一影像感测模组，该影像感测模组系设置于该检测平台，并电性连结于该控制模组，用以感测一面板影像，并将该面板影像传送至该控制模组，使该控制模组依据该面板影像校正该电极模组与该面板间之该相对移动之位置。如申请专利范围第6项所述之蒸镀机，其中，该影像感测模组包含一电荷耦合装置(Charge Coupled Device；CCD)，该电荷耦合装置系电性连结于该控制模组。如申请专利范围第5项或第6项所述之蒸镀机，其中，该光学特性侦测元件系为一辉度计。如申请专利范围第5项或第6项所述之蒸镀机，其中，该面板系为一有机发光二极体面板。 |
