| 主权项 |
一种精密加工设备，其包含旋转一研磨目标本体(a)之第一旋转装置(6a)，及支撑该第一旋转装置(6a)之第一安装件(2)；旋转一轮件(b)之第二旋转装置(6b)，及支撑该第二旋转装置(6b)之第二安装件(3)；移动机构(4,5)，用于将该第一安装件(2)及该第二安装件(3)选择性地移动至彼此较接近或彼此更远离；控制机构(94)，用于控制该第一及第二安装件(2,3)藉由该移动机构(4,5)所移动之量；及测量机构(91,92)，用于测量该研磨目标本体(a)之厚度及均匀度，其特征为：该移动机构(4,5)包含由进给螺杆机件(4)所形成之第一移动部份及由致动器(5)所形成之第二移动部份，该致动器系基于压力控制，当该状态要求时，藉着选择性地使用该第一移动部份及该第二移动部份，该移动机构(4,5)相对彼此移动该第一安装件(2)及该第二安装件(3)，一用于控制该第一或第二旋转装置(6a,6b)之姿势的姿势控制装置(7)系介于该第一旋转装置(6a)及该第一安装件(2)之间、或于该第二旋转装置(6b)及该第二安装件(3)之间；该姿势控制装置(7)包含在一由X轴及Y轴所形成的平面中延伸之第一板件(71)，及平行于该第一板件(71)与远离该第一板件(71)之第二板件(72)；凹入部份(71a,72a)，其系形成于该二板件(71,72)之相向表面中；一球状本体(73)，其介于该第一板件(71)及该第二板件(72)之间，使该球状本体(73)之各部份装入该二凹入部份(71a,72a)；第一致动器(76)，其在一延伸垂直于由该X轴及该Y轴所形成之平面的Z轴之方向中扩展，且亦介于该第一板件(71)及该第二板件(72)之间；第二致动器(75)，其在由该X轴及该Y轴所形成的平面中之一适当方向中扩展，并连接至该第二板件(72)；该第二板件(72)之结构系设计成能够相对该第一板件(71)移动，同时一物体系放置在该第二板件(72)上；该球状本体(73)系藉着一能够弹性变形之黏接剂附接至该第一板件(71)及/或该第二板件(72)；一压电元件及一超级磁致伸缩元件系设在该第一致动器(76)及该第二致动器(75)两者上；及该控制机构(94)之结构系设计成可使得该第一及第二安装件(2,3)被移动之量、及/或该姿势控制装置(7)之姿势系基于藉由该测量机构(91,92)所获得之测量结果所调整，以获得该研磨目标本体(a)的预定厚度及均匀度。如申请专利范围第1项之精密加工设备，其中该第二移动部份包含复数不同压力性能之气动致动器(5a,5b)或液压致动器，且可用不同压力藉着该第二移动部份选择性地控制该第二安装件(3)及该第二旋转装置(6b)之移动。如申请专利范围第1或2项之精密加工设备，其中该轮件(b)包含至少一化学机械研磨轮件。 |
