| 主权项 |
一种用以即时控制用于微影程序中之组成物的系统，其至少包含：一组成物循环器，用以经由一流槽，将组成物自包含有用于微影程序之组成物的储存槽中抽出，及用以再循环被抽出之组成物至该储存槽；一组成物分析器，用以量测通过该流槽的组成物的吸收值，及用以由所量测之吸收值，计算该组成物之至少一成份的浓度；一成份供应器，用以当一缺乏成份的浓度低于一预定位准时，供给该缺乏成份至该储存槽；及一控制器，用以依据该吸收值以控制该成份供应器，以调整该组成物之每一成份的浓度。如申请专利范围第1项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之组成物循环器包含：一第一自动阀，安装在包含有组成物的储存槽上，用以自储存槽抽出组成物；一传送容器，用以接收经第一自动阀所自储存槽抽出的组成物，及用以传送所接收之组成物至该流槽；及一真空贮器，用以真空化该传送容器。如申请专利范围第2项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之真空贮器系被抽真空或被供给以惰性气体，及当真空贮器被抽真空时，该组成物由该储存槽供女烚至该传送容器，及当该惰性气体被供给至真空贮器时，该组成物系由于惰性气体的压力，而由传送容器传送至流槽。如申请专利范围第2项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之组成物循环器更包含一真空射出器，用以依据一第二自动阀的控制，藉由接收空气并由该贮器射出空气，以将真空贮器抽真空。如申请专利范围第2项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之组成物循环器更包含一排出传送槽，其系连接至该真空贮器，用以当过量之组成物注入传送容器时，接收由传送容器溢流之组成物。如申请专利范围第1项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之组成物包含流槽，予以分析之组成物通过该流槽；一光纤，用以照射光至组成物，以量测该组成物的吸收值；及一近红外线频谱仪，用以量测该组成物的吸收值。如申请专利范围第1项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之成份供应器包含一或多数添加槽，用以暂时地保有该组成物，并供给所保有的组成物至该储存槽；及一真空贮器，用以将该等添加槽抽真空。如申请专利范围第7项所述之控制用于微影程序中之组成物的系统，其中上述之成份供应器更包含一线路混合器，用以混合在该等添加槽中之多数成份；及一混合槽，用以保有所混合之溶液。一种用以即时控制用于微影程序中之组成物的方法，其至少包含步骤：将在储存槽中，用于微影程序之组成物传送至减压状态的传送容器；将在传送容器中之组成物藉由将惰性气体注入传送容器中，而传送至一流槽中；藉由在组成物通过流槽的同时，量测组成物的吸收值，而量测该组成物的至少一成份的浓度；将组成物由流槽中，再循环至储存槽；将组成物之一缺乏成份传送至一添加槽；及供给在添加槽中之缺乏成份至储存槽。如申请专利范围第9项所述之控制用于微影程序中之组成物的方法，其中上述之缺乏成份数量为二或更多，及该方法包含混合缺乏成份的步骤。如申请专利范围第9项所述之控制用于微影程序中之组成物的方法，其中上述之方法包含步骤有输出该组成物之至少一成份的浓度及组成物的状态。 |
