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一种奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，其上形成有奈米碳管阵列；将熔化之第一填充材料填充入奈米碳管阵列之空隙中，凝固第一填充材料与奈米碳管阵列得到第一复合材料；提供一第二填充材料，第二填充材料之熔点高于第一填充材料之熔点，将熔化之第二填充材料注入到第一复合材料之表面，待第一填充材料被熔化之第二填充材料完全熔化而从奈米碳管阵列之空隙中流出后，凝固第二填充材料与奈米碳管阵列，从而得到由奈米碳管与第二填充材料复合之奈米碳管复合热界面材料。如申请专利范围第1项所述之奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其中，所述第一填充材料为石蜡。如申请专利范围第2项所述之奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其中，所述第二填充材料为铟、铜或钛。如申请专利范围第1项所述之奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其中，在将熔化之第一填充材料填充入奈米碳管阵列之空隙过程中，利用超声波对熔化之第一填充材料进行分散。如申请专利范围第1项所述之奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其中，进一步包括对所得到之奈米碳管复合热界面材料进行表面处理使得其中之奈米碳管阵列至少一端伸出第二填充材料。如申请专利范围第5项所述之奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其中，所述表面处理方法包括机械抛光法、化学-机械抛光法、湿化学蚀刻法、电化学蚀刻法或电浆蚀刻法。一种奈米碳管复合热界面材料之制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，其上形成有奈米碳管阵列；将形成有奈米碳管阵列之基底浸入熔化之第一填充材料中，凝固第一填充材料得到第一复合材料；提供一第二填充材料，第二填充材料之熔点高于第一填充材料之熔点，将熔化之第二填充材料注入到第一复合材料之表面，待第一填充材料被熔化之第二填充材料完全熔化而从奈米碳管阵列之空隙中流出后，凝固第二填充材料，从而得到由奈米碳管与第二填充材料复合之奈米碳管复合热界面材料。 |
