| 主权项 |
一种充气阀，系包括：一固定本体，具有一底座且在该底座的中心设有一下开口；一充气头，系包括一基座及一由该基座的中心向上突起的中空筒状部，其中，该中空筒状部系位于该固定本体之该下开口中且该中空筒状部的周壁设有一出气孔；一弹性元件，环设于该充气头之该中空筒状部四周，使其位于该固定本体其底座及该充气头其基座之间；及一阀盖，系配置于该充气头之该中空筒状部上，使该充气头在一往上的外力抵持下，于该下开口中由一第一位置移动到一第二位置并压缩该弹性元件；其中当该充气头处于该第一位置时，该阀盖系抵压该固定本体之该底座，而当处于该第二位置时，该阀盖与该底座形成一间隙且该充气头之该出气孔与该间隙相通。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中当该充气头处于该第二位置时，该弹性元件系呈一压缩状态。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该弹性元件为一环状结构且该环状结构之周围连接复数个弹性瓣。如申请专利范围第3项所述之充气阀，其中该弹性元件之该复数个弹性瓣系由至少一个向上方延伸之弹性瓣及至少一个向下方延伸之弹性瓣所组成。如申请专利范围第3项所述之充气阀，其中当该充气头处于该第二位置时，该弹性元件上的该复数个弹性瓣系呈一压缩状态。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该固定本体之该底座上系设有一气密件。如申请专利范围第6项所述之充气阀，其中该固定本体之该底座进一步设有一环状凹槽，该环状凹槽内嵌有该气密件。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该阀盖系具有一盖缘，以利用该盖缘抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第8项所述之充气阀，其中该阀盖其盖缘之间系形成一凹槽且该凹槽之侧壁具有螺纹，以利用该螺纹螺合于该充气头上方。如申请专利范围第8项所述之充气阀，其中该阀盖之该盖缘系进一步包覆有一层橡胶垫，以利用该橡胶垫抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该充气头的底部系具有一进气口。如申请专利范围第11项所述之充气阀，其中该充气头之该进气口系进一步安装有一过滤器，且当该过滤器经一供气喷嘴往上抵持时，该充气头系由该第一位置移动到该第二位置。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该充气头之该基座系进一步配置一接合件。如申请专利范围第1项所述之充气阀，其中该固定本体系有一外周面，且在该外周面上间隔设有复数个突起卡扣件。如申请专利范围第14项所述之充气阀，其中该固定本体之该底座系往四周的下方延伸有一内侧壁后，再反转形成该外周面，以利用该内侧壁容置该充气头之该基座。如申请专利范围第15项所述之充气阀，其中该固定本体之该内侧壁上进一步设有复数个突出肋，以利用该复数个突出肋接触该充气头之该基座，使该充气头之该中空筒状部维持于该固定本体之该下开口中。一种晶圆盒，主要包括一盒体，该盒体内部容置有复数个晶圆，且在该盒体之一侧面形成一开口可供该复数个晶圆之输入及输出，一门体，系用以关闭该盒体之该开口，以及一充气阀配置于该盒体上的一贯通孔中，其中该晶圆盒之特征在于：该充气阀系包含一安装于该贯通孔之固定本体，该固定本体具有一底座且在该底座的中心形成一下开口，以内装一充气头，该充气头在其周壁设有一出气孔且该充气头的上方进一步配置有一阀盖，使该充气头在一往上的外力抵持下，于该下开口中由一第一位置移动到一第二位置，当该充气头处于该第一位置时，该阀盖系抵压该固定本体之该底座，而当处于该第二位置时，该阀盖与该底座形成一间隙且该充气头之该出气孔与该间隙相通。如申请专利范围第17项所述之晶圆盒，进一步配置一弹性元件，其中该弹性元件为一环状结构且该环状结构之周围连接复数个弹性瓣。如申请专利范围第18项所述之晶圆盒，其中该弹性元件之该复数个弹性瓣系由至少一个向上方延伸之弹性瓣及至少一个向下方延伸之弹性瓣所组成。如申请专利范围第17项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该底座上系设有一气密件。如申请专利范围第20项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该底座进一步设有一环状凹槽，该环状凹槽内嵌有该气密件。如申请专利范围第17项所述之晶圆盒，其中该阀盖系具有一盖缘，以利用该盖缘抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第22项所述之晶圆盒，其中该阀盖其盖缘之间系形成一凹槽且该凹槽之侧壁具有螺纹，以利用该螺纹螺合于该充气头上方。如申请专利范围第22项所述之晶圆盒，其中该阀盖之该盖缘系进一步包覆有一层橡胶垫，以利用该橡胶垫抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第17项所述之晶圆盒，其中该充气头的底部系具有一进气口。如申请专利范围第25项所述之晶圆盒，其中该充气头之该进气口系进一步安装有一过滤器，且当该过滤器经一供气喷嘴往上抵持时，该充气头系由该第一位置移动到该第二位置。如申请专利范围第17项所述之晶圆盒，其中该固定本体系有一外周面，且在该外周面的底部形成一向外延伸的凸缘，以利用该凸缘卡固于该贯通孔之周缘下方。如申请专利范围第27项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该外周面进一步间隔设有复数个突起卡扣件，该复数个突起卡扣件系提供一弹力于该贯通孔，使该固定本体安装于该贯通孔中。一种晶圆盒，主要包括一盒体，该盒体内部容置有复数个晶圆，且在该盒体之一侧面形成一开口可供该复数个晶圆之输入及输出，一门体，系用以开关该盒体之该开口，以及一充气阀，该充气阀系配置于该盒体上的一贯通孔中，其中该晶圆盒之特征在于：该充气阀系包含一安装于该贯通孔之固定本体，该固定本体具有一底座且在该底座的中心形成一下开口，以内装一充气头，该充气头系包括一基座及一由该基座的中心向上突起的中空筒状部，该中空筒状部系环设有一弹性元件并在其周壁设有一出气孔，且该中空筒状部的上方进一步配置有一阀盖，使该充气头在一往上的外力抵持下，于该下开口中由一第一位置移动到一第二位置并压缩该弹性元件，当该充气头处于该第一位置时，该阀盖系抵压该固定本体之该底座，而当处于该第二位置时，该阀盖与该底座形成一间隙且该充气头之该出气孔与该间隙相通。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该弹性元件为一环状结构且该环状结构之周围连接复数个弹性瓣。如申请专利范围第30项所述之晶圆盒，其中该复数个弹性瓣系由至少一个向上方延伸之弹性瓣及至少一个向下方延伸之弹性瓣所组成。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该弹性元件系位于该充气头其基座与该固定本体其底座之间。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中当该充气头处于该第二位置时，该弹性元件系呈一压缩状态。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该底座上系设有一气密件。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该底座上于该下开口外围系设有一环状凹槽，该环状凹槽内嵌有一圆形环。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该阀盖系具有一盖缘，以利用该盖缘抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第36项所述之晶圆盒，其中该阀盖其盖缘之间系形成一凹槽且该凹槽之侧壁具有螺纹，以利用该螺纹螺合于该充气头上方。如申请专利范围第36项所述之晶圆盒，其中该阀盖之该盖缘系进一步包覆有一层橡胶垫，以利用该橡胶垫抵压该固定本体之该底座。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该充气头的底部系具有一进气口。如申请专利范围第39项所述之晶圆盒，其中该充气头之该进气口系进一步安装有一过滤器，且当该过滤器经一供气喷嘴往上抵持时，该充气头系由该第一位置移动到该第二位置。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该充气头之该基座系进一步配置一接合件，以避免当一供气喷嘴往上抵持该充气头时，周围环境的气体进入该充气头。如申请专利范围第39项所述之晶圆盒，其中该充气头之该基座系进一步配置一接合件，以避免当一供气喷嘴往上抵持该充气头之该进气口时，周围环境的气体进入该充气头。如申请专利范围第40项所述之晶圆盒，其中该充气头之该基座系进一步配置一接合件，以避免当一供气喷嘴往上抵持该充气头之该过滤器时，周围环境的气体进入该充气头。如申请专利范围第29项所述之晶圆盒，其中该固定本体系有一外周面，且在该外周面的底部形成一向外延伸的凸缘，以利用该凸缘卡固于该贯通孔之周缘下方。如申请专利范围第44项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该外周面进一步间隔设有复数个突起卡扣件，该复数个突起卡扣件系提供一弹力于该贯通孔，使该固定本体安装于该贯通孔中。如申请专利范围第44项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该底座系往四周的下方延伸有一内侧壁后，再反转形成该外周面，以利用该内侧壁容置该充气头之该基座。如申请专利范围第46项所述之晶圆盒，其中该固定本体之该内侧壁上进一步设有复数个突出肋，以利用该复数个突出肋接触该充气头之该基座，使该充气头之该中空筒状部维持于该固定本体之该下开口中。 |
