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一种三轴向光学式加速度计，包括有：基座；光学式二维角度量测装置，其系固定于基座上，且设有量测探头；光学式一维位移量测装置，其亦固定于基座上，并设有量测探头；感震装置，其系固定于基座上，该感震装置设有设有十字型感震质量与八根微细梁，又于十字型感震质量的底面处再设柱状感震质量，该十字型感震质量上系设有反射镜。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该光学式二维角度量测装置之量测探头系包括有：雷射二极体、分光镜、准直镜及四象限光感测器，藉由雷射二极体发射光束射向分光镜并经准直镜后，此雷射光束将投射至反射镜上，而反射光束则循原路径经准直镜、分光镜后投射至四象限光感测器上。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该基座上系设有第一固定面，以供光学式二维角度测装置固定于其上，又相距于第一固定面适当之距离处，则设有第二固定面，该第二固定面则供感震装置及光学式一维位移量测装置固定于其上。如申请专利范围第3项所述三轴向光学式加速度计，其中，十字型感震质量与微细梁系配置于基座之第二固定面上，并以螺丝穿过垫片且锁固于基座第二固定面之螺孔。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该光学式一维位移量测装置之量测探头系包括有：雷射二极体、分光镜、准直镜、物镜及四象限感测器，藉由雷射二极体发射光束射向分光镜并在穿透准直镜、物镜后，聚焦在反射镜上，而反射光束则循原路径经物镜、准直镜、分光镜后投射至四象限光感测器上。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该十字型感震质量与微细梁为一体成型之结构。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该柱状感震质量为方柱体。如申请专利范围第1项所述三轴向光学式加速度计，其中，该柱状感震质量为圆柱体。 |
