Deformierbare Spiegelvorrichtung

摘要

Deformierbares Element zum Modulieren von Licht mit: einer federnden, flexiblen langgezogenen Einrichtung (20; 31; 41; 51), welche eine Licht-reflektierende Oberfläche (32) aufweist, wobei die Einrichtung (20; 31; 41; 51) auf einem Substrat (23; 34; 54) angebracht ist und biegbar um eine Achse (21) angeordnet und konvex deformierbar ist, wobei eine Länge der Einrichtung (20; 31; 41; 51) in einer Richtung parallel zu der Achse (21) größer als eine Breite der Einrichtung (20; 31; 41; 51) in einer Richtung rechtwinklig zu der Achse (21) ist; wobei die Einrichtung (20; 31; 41; 51) auf einem Sockel (24; 33) getragen ist und Flügel aufweist, welche zu jeder Seite des Sockels (24; 33) vorspringen; wobei auf der Einrichtung (20; 31; 41; 51) eine Elektrodenschicht (32) vorgesehen ist; wobei unterhalb der Einrichtung (20; 31; 41; 51) eine Steuerelektrode (35) auf dem Substrat (23; 34; 54) vorgesehen ist; und wobei...